仪器厂商和型号

美国热电（Thermo）NS7

JSM-6701F

仪器设备性能参数

FE SEM 性能指标：

分辨率: 1.0nm (15kV);2.2nm (1kV 时)

加速电压: 0.5kV ~ 30Kv

放大倍数：×25 ~ ×650,000

束流范围：10-13 ~ 2×10-9A

聚光镜：两级

样品室: 最大可装载直径为150mm 的样品

电子枪: 全自动圆锥形冷场发射枪

EDS 性能指标：

元素分析范围: Be（4） ~U (92)

探测器晶体面积: 大于等于10 平方毫米

分辨率: 优于132 eV， Mn Ka 线>5000cps

分辨率高达4096×4096×16bit 的图像采集和显示

仪器设备功能用途

与扫描电镜相比场发射扫描电镜具有空间分辨率高，稳定性好，具有二次电子图像分辨率高、放大倍数连续可调、景深大、组织形貌观察与成分测定相结合、试样制作简单等特点。其配件X射线能谱仪具有微区分析功能，高灵敏度的探测器，高通量的全数字脉冲处理器和数字图像，丰富强大的软件功能。