仪器厂商和型号

Zeiss Auriga

仪器设备性能参数

SEM 分辨率Resolution： 1.0nm @ 15kV 1.9nm @ 1kV

放大倍数Mag.：12 ~ 1000,000x

加速电压EHT：0.1 ~ 30kV

FIB 分辨率Resolution：2.5nm @ 30kV

放大倍数Mag.：300×～ 500,000×

加速电压EHT：1.0 ~ 30Kv

仪器设备功能用途

聚焦离子束场发射扫描双束电镜（FIB）是国际上纳米结构分析和材料微纳结构制备的先进设备。它配有电子束和Ga离子束，可以实现电子束与离子束的同时在线观测，具有束流稳定、分辨率高、纳米操控精确的特点，可以在纳米尺度的分辨率下对材料进行三维、高质量、高稳定性的显微形貌、晶体结构和相组织的观察与分析，及各种材料微区化学成分的定性和定量检测。