仪器厂商和型号

美国MTS公司

Nano Indenter XP

仪器设备性能参数

位移精度：0.01nm;载荷精度：50nN；位置精度：400nm;最大载荷：600mN；最大深度：500um。

纳米显微力学探针是研究材料微区力学性能的有力工具。

Nano Indenter II纳米显微力学探针是一种特殊的压入系统，它能连续记录载荷、位移数据，实验载荷可小至微克数量级。除了可以研究第二相粒子，晶界，复合材料等，由于它的高位移精度（垂直方向为0.04nm）特别适合于分析各种薄膜材料和表面改性材料的微区力学性能。

仪器设备功能用途

1、测定各种薄膜材料包括离子注入材料、化学镀、气相沉积、多层膜、超硬膜、表面改性等材料的硬度和弹性模量；
      2、测定多相金属材料、复合材料中某一相的硬度和弹性模量及界面区域的硬度分布；
      3、测定材料的蠕    变和应变速率敏感系数；
      4、测定材料的硬化指数；
      5、通过测量压痕的裂纹长度可以得到材料的断裂韧性；
      6、通过推出法测定复合材料的界面性能，可以得到界面剪切强度；
      7、结合有限元方法可计算材料的屈服强度；
      8、结合划痕附件可测量薄膜的结合强度和摩擦系数；
      9、在集成电路、微电子及生物材料领域也有应用。纳米显微力学探针的应用领域还在不断扩大。充分利用现有的硬件和软件，不断设计新的附件和应用软件必将开发出更多的新功能。

仪器设备对外服务项目

薄膜材料硬度和弹性模量。