仪器厂商和型号

CAMECA LEAP-5000XR

仪器设备性能参数

最低样品温度：25 K

离子收集率：50%

激光能量：1-1000 pJ

空间分辨率：0.1 nm

环形视场（Al，nm）：> 150

最高脉冲频率：500 kHz

最大数据采集速率：4M ions/min

背底真空（分析室，Torr）: < 1×10-10

质量分辨率： 1000 (半高峰宽)；475 (10%峰宽)； 275(1%峰宽)

仪器设备功能用途

以三维视角在亚纳米尺度揭示材料内部所有元素的分布。针对材料研发中令人棘手的测量和分析方面难题，三维原子探针为研究者提供原子量级分辨率的材料内部结构的三维成分图像，分析灵敏度接近百万分之一，特别适合于研究纳米尺度的微小结构(沉淀、团簇、GP区等)以及各种内界面(晶界、相界、多层膜结构中的层间界面等)，使用该设备可观测和研究元素在界面的偏聚行为，微小沉淀相的尺寸、分布以及成分。在纳米材料等新材料研究方面，传统金属材料和新金属材料研究方面都可发挥重要作用，广泛的应用于涉及新型金属材料、新能源材料、电子信息材料及其器件和材料复合与器件集成等材料、物理、化学等多学科的研究领域。

LEAP-5000XR局部电极三维原子探针系统是目前最先进的三维原子探针系统，同时具有高压电脉冲模式和UV激光脉冲模式，可测试金属等导电材料，也可测试高电阻半导体、氧化物等等非导电材料。

仪器设备对外服务项目

金属等导电材料，高电阻半导体、氧化物等非导电材料的三维元素分布。